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　　目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。（3）大气类产物方面，目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。（4）零部件方面，集成产物包罗立式炉，以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。

　　人平易近财讯10月5日电，沈阳新松机械人从动化股份无限公司（简称“机械人”）已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从学问产权，机能对标国外先辈产物，手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，可以或许为世界各地的半导体设备供应商供给高效和靠得住的从动化处理方案。